重荷重仕様ばね付き双輪自在キャスター
LSDFE-POTH 200XK-ELS-FS-899642
Blickle(ブリックレ)による低発塵クリーンルーム用特殊キャスター
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企業様情報
半導体技術産業における主要メーカーで、マイクロチップの製造に使用する機器装置の開発・製造を行っています。国際的な企業組織で、2015/2016年度の売上高は9億7200万ユーロでした。全世界での従業員数は約2,800人で、そのうち約30％が研究開発を行っています。
Blickle(ブリックレ)の挑戦
半導体露光装置のレンズの製造工程では、重荷重仕様の台車が必要でした。レンズはクリーンルーム環境、つまり空気中の汚染物質（浮遊微小粒子、浮遊微生物）が極めて低いレベルに維持された空間で製造されていました。よってクリーンルーム環境で使用する機器や材料はいずれも、特殊表面、帯電防止、低摩耗性、低メンテナンス、清掃のしやすさといった特別な基準を満たす必要がありました。
一連のエアロック装置が、クリーンルームの入り口から、空気中に浮遊する微粒子や微生物のレベルが極めて低い、いわゆる「ウルトラクリーンルーム」となるまで、空気中の汚染物質を除去します。運搬用台車に使用するクリーンルーム用特殊キャスターは、クリーンルーム用エアロック装置の一つにのみ取り付け可能でした。
製造工程の一部として、台車をガイドローラーで動かしてU字型の通路を通過しなければならならず、スペースが限られているため、高度な操縦性が求められていました。本メーカーの要件は、取付高が低く、耐重荷重仕様でフットガード付きでした。
Blickle(ブリックレ)による解決策
耐重荷重仕様、低発塵性、操縦性に関する全ての要件を満たすため、Blickle(ブリックレ)では、クリーンルーム用特殊キャスターの基礎として、LSDFE-POTHシリーズの重荷重仕様ばね付き双輪キャスターを使用していました。
クリーンルーム内では、全ての部品からできる限り空気中に微粒子を出さないように扱わなければなりません。よって、ボルトはいずれもステンレススチール製とします。ブラケット全体にニッケルメッキを施し、表面を滑らかに仕上げます。防食性が高まるだけでなく、塵埃等の粒子を認識しやすくなります。ブラケットの旋回部とPOTHホイールのボールベアリングには、特殊グリースを使用します。ホイールには、熱可塑性ポリウレタン製トレッドと高品質ナイロン製ホイールセンターを使用します。ポリウレタン製のばねにも、アウトガスを防ぐための特殊な処理を施します。
キャスターを非常にクリーンな環境で製造して梱包します。
導入結果
発塵性テストにおいて、Blickle(ブリックレ)の特殊キャスターがクリーンルームの基準を満たしていることが確認されました。台車は安心感のあるフットガード付きで、一人でも簡単に操作できます。非常に高い安全性とエルゴノミクスを実現し、結果としてコストを削減します。
製品の利点と技術情報「LSDFE-POTH 200XK-ELS-FS-899642」
耐荷重（1キャスターあたり）：900kg
狭い通路での操縦性を考慮したコンパクトなデザイン
安全のためのフットガード付き
部品はいずれも、微粒子の発塵基準を満たしている。